Đại lý thiết bị tự động tmp Mr.Hải 0912411068
CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT
social
hai@tmpvietnam.com
Tìm kiếm
danh mục sản phẩm
hỗ trợ tư vấn
0912411068
Kinh doanh
hai@tmpvietnam.com: 0912411068
zalo
Hải TMP: 0912411068
social
THỐNG KÊ TRUY CẬP
Đang online: 58
Truy cập ngày: 160
Truy cập tuần: 2397
Truy cập tháng: 28102
Tổng truy cập: 2149426
liên kết website
Sản phẩm

  • Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

  • XUẤT XỨ:     JAPAN 

    TÌNH TRẠNG:     MỚI 100%

    HÃNG SẢN XUẤT:      OHKURA

     

    GIÁ BÁN:     LIÊN HỆ 0981801821

     

     

     

    MÃ SẢN PHẨM : Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

     

     

    ĐẠI LÝ OHKURA VIỆT NAM

  • Thông Tin Sản Phẩm
  • Đánh Giá

Đại lý phân phối chính hãng Ohkura Việt Nam

DF1600 lò xử lý nhiệt Ohkura (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quá trình xử lý nhiệt trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

► Đặc trưng

        • Lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn từ sản xuất hàng loạt sang sản xuất nhiều loại sản phẩm khác nhau

        • Thiết bị này cho phép xử lý công suất nhỏ, tốc độ cao

        • Có thể tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao (tương thích với FTP)
        • Một lò sưởi độc đáo sử dụng hệ thống gia nhiệt điện trở thẳng đứng cho phép tăng nhiệt độ ở tốc độ cao 

        • Cho phép cả quá trình xử lý tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao và xử lý tiêu chuẩn

        • Thiết bị có phần truyền động có độ tin cậy cao sử dụng hệ thống truyền wafer

        • Vận chuyển Wafer được thực hiện từ băng này sang băng khác.

        • Thành phần điều khiển sử dụng bảng điều khiển TFT với màn hình cảm ứng

        • Có thể vào lò nung wafer ở nhiệt độ thấp, do đó có thể giảm đáng kể ảnh hưởng của sự cuốn vào của không khí.

        • Tháo và lắp các ống phản ứng an toàn và dễ dàng

        • Hệ thống điều khiển nhiệt độ và lò sưởi sử dụng các phương pháp độc đáo để cải thiện đáng kể các đặc tính phục hồi

► Thông số kỹ thuật

Tốc độ giảm nhiệt độ

50 ° C
Tốc độ tăng nhiệt độ

100 ° C
Structure Vertical downward-opening system
Process wafer diameter φ100 mm - φ200 mm
Treatment methods Batch treatment
Treatment of 50 wafers / batch
Cassette storage Up to 9 cassettes including process, monitor, and dummy cassettes
Processes WET, DRY, ANNEAL, BAKE, etc.
Usable gases N2, O2, H2, etc
Wafer handlling 5 wafers batch/1 wafer
Kích thước

(W 900 x H 2200 x D 1980)
Sản phẩm cùng loại
Sản phẩm cùng loại

Lò khếch tán DF1000 Ohkura

Lò xử lý nhiệt DF2600 Ohkura

Bộ điều khiển lưu lượng MF5100B Ohkura

Bộ điều khiển lưu lượng MF1100B Ohkura

Đồng hồ đo mực nước LT7000B Ohkura

Thiết bị báo mức nước LT8000A Ohkura

Máy phát áp suất điện tử PT3000R Ohkura

Bộ chuyển đổi tín hiệu SE7101A Ohkura

Bộ chuyển đổi nhiệt độ AX7100B Ohkura

Thiết bị đo OM7000A Ohkura

Máy Phát Độ Dẫn Điện Nước SC7500R Ohkura

Máy Phát Độ Dẫn Điện SC7300R Ohkura

Máy Phân Tích Độ Dẫn SC5800R Ohkura

Máy Phân Tích PH Nước SA1001B Ohkura

Thiết bị đo độ PH P242/2A Ohkura

Máy Đo Độ PH SH2500A Ohkura

Máy phân tích độ PH SH7500R Ohkura

Bộ chuyển đổi pH SH7300R Ohkura

Máy Phân Tích SH5800R Ohkura

Thyristor unit GS3000R Ohkura

Thyristor unit GS2000B Ohkura

Cổng nhận tín hiệu GU2000C Ohkura

Bộ Điều Khiển EC1200A Ohkura

Bộ Điều Khiển EC5700R Ohkura

Bộ Điều Khiển EC5500R Ohkura

Bộ Điều Khiển EC5300R Ohkura

Bộ Điều Khiển EC4100C Ohkura

Thiết Bị Báo Động DE7000B Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu VM8800A Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu VM6100 Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu VM7000B Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu VM7000A Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu VM6800 Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu RM10C Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu RM25G/RM25N Ohkura

Bộ ghi dữ liệu ORM10G/RM10N Ohkura

Bộ Ghi Dữ Liệu RM18G/RM18N Ohkura

Bộ Điều Khiển EC1107A Ohkura

Bộ ghi dữ liệu RM10C Ohkura

Đồng hồ đo mực nước Ohkura, Đồng hồ hiện thị nhiệt độ Ohkura

Thyristor Ohkura,Máy đo độ PH Ohkura, Bộ dẫn tín hiệu đo độ PH Ohkura, Đầu dò Ohkura

Bộ ghi dữ liệu Ohkura, Bộ ghi nhiệt Ohkura, Bộ nguồn Ohkura | OHKURA VIETNAM

Bộ chuyển đổi tín hiệu Ohkura, Bộ điều khiển lưu lượng Ohkura, Bộ điều khiển Ohkura | OHKURA VIETNAM

Đại lý Ohkura Việt Nam - Bộ điều khiển Ohkura , Đồng hồ hiện thị Ohkura | OHKURA VIETNAM

Copyright © 2019 CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT. Design by Nina.vn
iba AG Nireco Keller ITS Land Ametek Okazaki Gunther Tema Zama Sensor Kawaso CS Instruments EPI Fox Instrument Bronkhorst Knick Gastron Ashcroft Labom Dittmer Kelk BCS Schenck Process / Qlar Intorq O.E.G Temporiti Gemu Hirose Valve Veljan DMN Westinghouse Adler Lapar Aira Duncan Igatec Deublin Kracht Rommer Fordertechnik Spohn Burkhadrt Nanhua Santerno Sitec Matsushima Koganei Ohkura Bircher Comet Systems Redlion TDK Lambda Block Rechner Sensor Mark-10 AT2E Brugger IDM Instrument Thwing Albert